半導体の加工・製造過程において高精度の温度制御によって製品を最良の状態へ導きます。
製品案内 生産技術分野
冷却・温調・防爆・除湿・乾燥・除塵・空調に関わる技術をお客様の望まれる形に実現
半導体冷却・温調装置
納入事例
シリコンインゴット加工時の、クーラント液の温度を高精度に保ち、品質の安定と生産性の向上。